| 品牌：HONDA | 货号：W-357-1MQG-SKC | 用途：半导体行业 |
| 工作方式：超声波 | 外形尺寸：180 x 250 x 100 cm | 槽数：1 |
| 超声清洗频率：1MHz | 类型：一体式 | 产地：日本 |
| 重量：2.2公斤 | 电压：AC100V~240V 单相 50/60Hz 300VA | 内槽尺寸：---- |
| 加热功率：12 | 震子数：1 | 时间控制范围：--- |
| 尺寸：180 x 250 x 100 | 容量：--- | 总功率：12 |
实现低损伤、高清洁度的***清洗
在这种方法中，超声波叠加在石英振荡器上以清洁半导体晶片。
与批量清洗和流水清洗相比，可以减少化学品的使用量，而且由于接液部分仅由石英玻璃制成，填料等橡胶材料不与液体接触，因此可以保持高清洁度。。
此外，通过根据目的准备石英振动体的形状，可以满足低损伤清洗、大面积清洗、斜面部分（边缘面）和缺口（晶片边缘面缺口）等需求。清洁。***清洁是可能的。
清洗晶圆的小型化，损伤小。
在石英振动体上叠加超声波清洗半导体晶圆。
通过化学液体将超声波振动从石英振动体传播到半导体晶圆，清洗接触区域的化学液体。振动并利用其加速度去除表面的污垢。
实现对半导体晶片的损伤少的清洁清洗
与化学物质接触的部分使用石英，与使用橡胶材料的设备（如密封件）相比，可以进行清洁清洗而不会造成橡胶的溶出或磨损。
■由于具有振动器冷却功能，通过使用气体（氮气等）冷却振动器，可以稳定地连续运行而不会产生频率波动。
此外，通过冷却，温度不会突然变化，寿命长。
去除抗蚀剂残留物
磨边后，灰化后去除聚合物
栅电极清洗
CMP后清洗
■ 振荡器
| 模型 | W-357-1MQG-SKC |
| 振荡模式 | 单频振荡 |
| 额定输出 | 12W |
| 标称振荡频率 | 1MHz |
| 电源输入 | AC100V~240V 单相 50/60Hz 300VA |
| 尺寸 WxDxHmm |
180 x 250 x 100 （不包括突出部分，包括橡胶脚） |
| 大量的 | 2.2公斤 |
●可变输出范围：0W 至 12W（振动器的允许输入：当使用空气吹扫冷却振动器时，持续 10W）
●使用环境：温度：15 至 35°C，湿度：10 至 85%
●外部驱动器触点额定值：超声波振荡控制（控制侧） 接点输入：DC12V 16mA 以上
警报输出（本机） 接点容量：DC24V 0.***
附属电缆：电源线（2m for 100V/3m for 200V），控制线（5m）x4
■ 振动体
| 流量 | 未*** |
| 全长 | 159毫米 |
| 卡盘零件尺寸 | φ24mm |
| 照射面积 | 24cm2 |
| 大量的 | 600克 |
●液体温度范围：20～50℃
●振动器：PZT
●材质：振动体：石英玻璃、包装：硅橡胶、外壳：PCTFE
●电缆长度：输出线1.5m+继电器线3.5m
●空气吹扫用接头：适用管（外径φ6）
*2MHz 和 3MHz 也可提供定制规格。
